US 20070281082 А1, 06.12.2007. SU 1331369 A1, 27.12.1996. RU 2371806 C1, 27.10.2009. RU 2407820 C1, 27.12.2010. US 6933182 B1, 23.08.2005. Киреев В. и др. Мир электроники, технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. - М.: Техносфера, 2006, с.98-104.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирская государственная геодезическая академия" (ГОУВПО "СГГА") (RU)
Изобретатели:
Чесноков Владимир Владимирович (RU) Чесноков Дмитрий Владимирович (RU) Михайлова Дарья Сергеевна (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирская государственная геодезическая академия" (ГОУВПО "СГГА") (RU)
Реферат
Изобретение относится к области технологий микроэлектроники, а именно к способам получения тонких пленок на подложках. В реакционную зону подают поток инертного газа-носителя с первым летучим реагентом, формируют на подложке из газовой фазы мономолекулярный слой из молекул первого летучего реагента. Затем осуществляют импульсно-периодическое лазерное облучение с периодом следования импульсов, достаточным для самоохлаждения облучаемой зоны и для формирования на подложке мономолекулярного слоя. Импульсно-периодическое лазерное облучение проводят с нагревом подложки поглощенным излучением до температуры хемосорбции адсорбированных молекул первого летучего реагента. Затем удаляют неадсорбированные молекулы первого летучего реагента газовым потоком, содержащим инертный газ-носитель и второй летучий реагент. Формируют из молекул второго летучего реагента мономолекулярный слой. Повторно проводят упомянутое импульсно-периодическое лазерное облучение до температуры прохождения химической реакции упомянутых реагентов в мономолекулярных слоях с образованием мономолекулярного слоя из молекул химического соединения в виде тонкой пленки. Затем осуществляют удаление неадсорбированных молекул и непрореагировавших реагентов. В качестве двух летучих реагентов могут использовать пары пиролитически разлагающегося химического соединения, которые вводят в поток инертного газа, причем лазерное облучение проводят с обеспечением терморазложения молекул реагентов. Получаются пленки, обладающие улучшенной структурой и улучшенными электрическими и механическими параметрами - большей электрической прочностью и меньшими внутренними механическими напряжениями. 1 з.п. ф-лы, 3 ил., 1 пр.
Поиск патентов
Получить полное описание патента