|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| ПОКРЫТИЕ ИЗ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ |  |
Номер публикации патента: 94016535 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94016535 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Кобяков В.П. | | Изобретатели: | Кобяков В.П. |
Реферат | |
Предлагается покрытие на основе нитрида алюминия, которое, благодаря особой микроструктуре, обладает сочетанием высоких эксплуатационных свойств: вакуумной плотностью, термической и коррозионной стойкостью, прочным сцеплением с подложкой, высокими уровнями теплопроводности и электросопротивления. Предлагаемое покрытие отличается от известных тем, что слой покрытия содержит мелкокристаллическую матрицу из нитрида алюминия, в которой равномерно распределены статистические ориентированные вдоль направления роста слоя нитевидные кристаллы нитрида алюминия. Объемное соотношение между структурными составляющими лежит в пределах соответственно от 0,4 : 0,6 до 0,6 : 0,4. Эти отличия достигаются тем, что в широкой области режимов газофазного осаждения нитрида алюминия выбирается узкий интервал (температура осаждения 1550 ± 20К), в котором с соизмеримой скоростью действуют два механизма кристаллизации нитрида алюминия, один из которых ответственен за рост мелкокристаллического слоя, а другой - за рост нитевидных кристаллов. Приведены микрофотографии структуры покрытия, результаты измерения электро- и теплофизических свойств и длительных термических и коррозионных испытаний покрытия.
|
Поиск патентов