|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ МЕДНОГО ПОКРЫТИЯ НА ДИЭЛЕКТРИК |  |
Номер публикации патента: 2188879 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C026/00 | | Аналоги изобретения: | RU 2149217 С1, 20.05.2000. US 5059485 А, 22.10.1991. EP 0508399 А, 14.10.1992. RU 95119029 А, 20.11.1997. |
| Имя заявителя: | Институт физики им. Л.В.Киренского СО РАН | | Изобретатели: | Саблина К.А.
Волков Н.В.
Петраковский Г.А. | | Патентообладатели: | Институт физики им. Л.В.Киренского СО РАН |
Реферат | |
Изобретение относится к электронной и другим областям техники, где по технологии необходимо наличие проводящего покрытия на диэлектрическом материале, и может быть использовано в микроэлектронной технологии, в частности, при изготовлении микрополосковых СВЧ-устройств. Техническим результатом изобретения является упрощение технологии получения равномерного по толщине покрытия, увеличение его прочности и химической чистоты.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента