|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ НАНО - ПРЕСС - ФОРМ ДЛЯ КОНТАКТНОЙ ПРЕСС - ЛИТОГРАФИИ (ВАРИАНТЫ) |  |
Номер публикации патента: 2308552 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C25D001/10 | | Аналоги изобретения: | US 6139713, 31.10.2000. RU 2072644 C1, 27.01.1997. US 6869557, 22.03.2005. SU 1791473 A1, 30.01.1993. |
| Имя заявителя: | "Общество с ограниченной ответственностью "НаноИмпринт" (RU) | | Изобретатели: | Федянин Андрей Анатольевич (RU)
Шерстюк Наталия Эдуардовна (RU)
Мишина Елена Дмитриевна (RU)
Вальднер Вадим Олегович (RU)
Зайцев Александр Александрович (RU)
Цирлина Галина Александровна (RU)
Долгова Татьяна Викторовна (RU)
Майдыковский Антон Игоревич (RU) | | Патентообладатели: | "Общество с ограниченной ответственностью "НаноИмпринт" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области нанотехнологии для микроэлектроники. Способ заключается в том, что для каждого вида или типа повторяющегося элемента методом фокусированного ионного зонда изготавливают одну реплику в проводящем материале, на каждую реплику электрохимически наносят адгезивный слой, затем методом гальванопластики - слой металла толщиной 50-100 мкм для образования отдельной пресс-формы и отделяют ее от реплики, затем повторением операций с этой же реплики получают остальные отдельные
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента