На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ СОЗДАНИЯ ОКИСНЫХ ПЛЕНОК | |
Номер публикации патента: 2268952 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C25D011/02 B82B003/00 | Аналоги изобретения: | US 5785838 A, 28.07.1998. |
Имя заявителя: | Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук (RU) | Изобретатели: | Щеглов Дмитрий Владимирович (RU) Латышев Александр Васильевич (RU) Асеев Александр Леонидович (RU) | Патентообладатели: | Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к наноэлектронике, микроэлектронике и может быть использовано в микроэлектронных и микроэлектромеханических системах, а также для создания микро-, нанопроцессоров и нанокомпьютеров. Способ заключается в том, что электрод подводят к поверхности подложки, затем на электрод подают отрицательный относительно точки поверхности подложки электростатический потенциал в течение промежутка времени, причем предварительно подложку помещают во влажную атмосферу и формируют на поверхности
|