На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
РЕАКТОР ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ШИРОКИХ ПЛАСТИН ИСХОДНОГО ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ | |
Номер публикации патента: 2222648 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C30B028/14 C30B029/06 C30B025/12 C30B025/14 C30B025/18 C01B033/02 | Аналоги изобретения: | НАШЕЛЬСКИЙ А.Я. Технология полупроводниковых материалов. - М.: Металлургия, 1987, с.64-66. SU 1770462 А1, 23.10.1992. RU 2158324 С1, 27.10.2000. JP 61-281009 А, 11.12.1986. US 4311545 А, 19.01.1982. SU 930851 А1, 20.03.2000. |
Имя заявителя: | Добровенский Владимир Вениаминович | Изобретатели: | Добровенский В.В. | Патентообладатели: | Добровенский Владимир Вениаминович |
Реферат | |
Изобретение относится к получению полупроводниковых материалов и может быть использовано для производства исходного поликристаллического кремния осаждением на нагретые подложки (основы) в процессе водородного восстановления хлорсиланов или из газовой фазы моносилана. Сущность изобретения: реактор для получения исходного поликристаллического кремния в процессе водородного восстановления хлорсиланов или разложения моносиланов содержит вертикальный водоохлаждаемый корпус из нержавеющей стали, распол
|