ЕР 748884 А1, 18.12.1996. JP 10007493 А, 13.01.1998. ЕР 887442 А1, 30.12.1998. JP 10194718 А, 28.07.1998. FR 2824847 A1, 22.11.2002.
Имя заявителя:
ЭйЭмДжи АЙДЕАЛКАСТ СОЛАР КОРПОРЕЙШН (US)
Изобретатели:
СТОДДАРД Натан Г. (US)
Патентообладатели:
ЭйЭмДжи АЙДЕАЛКАСТ СОЛАР КОРПОРЕЙШН (US)
Приоритетные данные:
20.01.2006 US 60/760,453 30.05.2006 US 60/808,954 24.08.2006 US 60/839,670 24.08.2006 US 60/839,672
Реферат
Изобретение относится к технологии производства литого кремния: моно- или поликристаллического, используемого в фотоэлектрических элементах и других полупроводниковых устройствах. Один из вариантов раскрыт в способе получения литого кремния, включающем приведение расплавленного кремния в контакт по меньшей мере с одним затравочным кристаллом кремния в сосуде, имеющем одну или несколько боковых стенок, нагретых по меньшей мере до температуры плавления кремния, и по меньшей мере одну охлаждаемую стенку, и образование твердого массива монокристаллического кремния, необязательно по меньшей мере с двумя измерениями, каждое по меньшей мере примерно по 10 см, путем охлаждения расплавленного кремния при регулировании кристаллизации, причем образование массива включает формирование границы раздела твердого тела с жидкостью по ребру расплавленного кремния, которая по меньшей мере сначала параллельна по меньшей мере одной охлаждаемой стенке, и граница раздела регулируется во время охлаждения таким образом, что она перемещается в направлении, при котором увеличивается расстояние между расплавленным кремнием и по меньшей мере одной охлаждаемой стенкой. Представлены также другие варианты. Предлагаемые способы являются более быстрыми, эффективными и менее дорогими и позволяют регулировать размер, форму и ориентацию зерен кристаллов в литом массиве кристаллизующегося кремния. С их помощью получают литой массив кремния большого размера (например, слитки с площадью поперечного сечения по меньшей мере 1 м2 и до 4-8 м2), не содержащий или практически не содержащий радиально распределенных примесей и кислород-индуцированных дефектов упаковки. 10 н. и 24 з.п. ф-лы, 9 ил., 1 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента