|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СИНТЕТИЧЕСКИХ КВАРЦЕВЫХ ИЗДЕЛИЙ |  |
Номер публикации патента: 2061111 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C30B015/10 C30B029/18 | | Аналоги изобретения: | Патент США N 3576932, кл. C 04B 33/32, 35/14, 35/64, 1971. |
| Имя заявителя: | Запорожский титаномагниевый комбинат (UA) | | Изобретатели: | Петрик Адольф Гаврилович[UA]
Кононенко Евгений Константинович[UA]
Пометун Борис Васильевич[UA]
Семенов Александр Иванович[UA]
Силаков Григорий Иванович[UA]
Фалькевич Эдуард Семенович[UA] | | Патентообладатели: | Запорожский титаномагниевый комбинат (UA) |
Реферат | |
Использование: в полупроводниковой промышленности. Сущность изобретения: способ включает напыление диоксида кремния, полученного в производстве разложения летучего соединения кремния в потоке кислородно-водородной плазмы на жаростойкий формообразователь с последующим остекловыванием напыленной заготовки в вакууме. Напыление заготовок кварцевых изделий (тиглей) производят на формообразователь из кремния полупроводниковой чистоты с использованием в качестве летучего соединения кремния моносилана при мольном соотношении последнего и кислорода 1:(10 - 30) при 1373 - 1573 К. Водород подают по щелевому каналу между каналами подачи моносилана и кислорода в мольном соотношении к кислороду 1:(0,3 - 0,5). Моносилан выделяют методом низкотемпературной ректификации из парогазовой смеси, предназначенной для получения высокоомного кремния, и используют без дополнительной очистки. Способ позволяет улучшить качество тиглей за счет снижения содержания примесей примерно на порядок, увеличить извлечение диоксида кремния из сырьевого продукта и исключить выбросы хлорсодержащих соединений в окружающую среду. 2 з. п. ф-лы.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента