|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ КРИСТАЛЛОВ ИЗ РАСПЛАВА |  |
Номер публикации патента: 2088702 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C30B015/00 C30B015/32 | | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 1798395, кл. C 30 B 15/00, 1993. |
| Имя заявителя: | Государственное предприятие "Красноярский машиностроительный завод" | | Изобретатели: | Кочергина Л.Ф.
Куценогий Л.К.
Петров С.И. | | Патентообладатели: | Государственное предприятие "Красноярский машиностроительный завод" |
Реферат | |
Изобретение относится к оборудованию для получения полупроводниковых материалов и может быть использовано в установках для выращивания монокристаллов на затравку, например, кремния методом Чохральского. Устройство содержит камеру роста 1 с тиглем 2, разделенную горизонтальной перегородкой 3 с центральным отверстием 4 на нижнюю 5 и верхнюю 6 части, затравкодержатель 7, кассету 8 с гнездами 10. Каждое гнездо имеет фиксатор в верхней части и опору с фиксатором в нижней. Опора закреплена на ползуне, установленном в прорези 15 полой оси, внутри которой остановлен толкатель. Имеется привод поворота кассеты и привод вертикального перемещения. Такое выполнение устройства позволяет каждое гнездо 10 кассеты 8 настраивать по длине выращенного монокристалла и выгружать одновременно после заполнения всех гнезд кассету из камеры с монокристаллами различной длины. 2 з. п. ф-лы, 8 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента