|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТАНОВКА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ СТЕРЖНЕЙ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2095494 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C30B015/00 C30B015/32 | | Аналоги изобретения: | Патент США N 4485072, кл. C 30 B 15/32, 1984. Кашельский А.Я. Производство полупроводниковых материалов. - М.: Металлургия, 1989, с. 125. |
| Имя заявителя: | Государственное предприятие "Красноярский машиностроительный завод" | | Изобретатели: | Кочергина Л.Ф.
Колмаков В.А.
Петров С.И.
Китаев А.Я.
Куценогий Л.К.
Савкин А.Н.
Панов П.И. | | Патентообладатели: | Государственное предприятие "Красноярский машиностроительный завод" |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к получению полупроводниковых материалов, в частности к получению стержней поликристаллического кремния как исходного материала для выращивания монокристаллов кремния. Сущность изобретения: установка включает в себя разъемный реактор, вертикальную стойку, контейнер, подъемник, систему подачи компонентов, транспортировочную тележку. Верхняя часть реактора закреплена неподвижно на вертикальной стойке, нижняя часть реактора выполнена подвижной. Подъемник установлен на направляющих стойки и замковым устройством сцепляется с нижней частью реактора или с контейнером. В верхней части реактора размещены токовводы с узлами крепления основ. Контейнер имеет гнезда с донными амортизаторами, размещенными в соответствии с размещением токовводов. К нижней части реактора подведены магистрали подачи компонентов от блока подачи компонентов и магистрали удаления жидких и газообразных продуктов реакции. Установка имеет площадку обслуживания. Загрузка реактора производится поднятием подъемников контейнера с установленными в гнезда основаниями. Аппаратчик, находящийся на площадке обслуживания, производит установку основ в узлы крепления на токовводы. После чего нижняя часть подводится под реактор подъемником, поднимается и стыкуется с верхней частью. Производится выращивание стержней поликристаллического кремния методом водородного восстановления хлорсиланов. Разгрузка производится в гнезда контейнера. 2 з.п. ф-лы, 5 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента