|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛА И СПОСОБ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛА |  |
Номер публикации патента: 2102539 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C30B015/14 C30B015/00 | | Аналоги изобретения: | US, патент, 4330362, кл. C 30 B 15/22, 1982. |
| Имя заявителя: | Вакер Зильтроник Гезельшафт фюр Хальбляйтерматериалиен АГ (DE) | | Изобретатели: | Петер Вильцманн[DE]
Хельмут Пинцхоффер[DE] | | Патентообладатели: | Вакер Зильтроник Гезельшафт фюр Хальбляйтерматериалиен АГ (DE) | | Номер конвенционной заявки: | P 4442829.4 | | Страна приоритета: | DE |
Реферат | |
Использование: выращивание монокристаллов методом Чохральского. Сущность изобретения: объектом изобретения является устройство для выращивания монокристалла из кремния по методу Чохральского, содержащее экранирующее растущий монокристалл трубчатое до конусообразного тело, которое делит пространство контейнера над расплавом на внутреннюю и внешнюю части, причем тело имеет одно отверстие, через которое инертный газ, направляемый во внутреннюю часть пространства контейнера, может попадать непосредственно в его внешнюю часть. Объектом изобретения является также способ выращивания монокристалла из кремния по методу Чохральского, при котором часть потока инертного газа направляют через одно отверстие в трубчатом до конусообразного теле из внутренней части во внешнюю часть пространства контейнера. 2 с. и 3 з.п. ф-лы, 12 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента