|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛА ПО МЕТОДУ ЧОХРАЛЬСКОГО |  |
Номер публикации патента: 2144575 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C30B015/28 | | Аналоги изобретения: | Zinnes A.E. et al Automatic diameter control of Crochralski grown crystals. J. Crys. Growth, 1973, vol.19, p.187 - 192. RU 2067625 C1, 10.10.96. SU 1745780 A, 07.07.92. US 4539067 A, 03.09.85. EP 0355746 A2, 28.02.90. |
| Имя заявителя: | Кочурихин Владимир Владимирович | | Изобретатели: | Кочурихин В.В.
Иванов М.А. | | Патентообладатели: | Кочурихин Владимир Владимирович |
Реферат | |
Изобретение относится к выращиванию монокристаллов вытягиванием из расплава, в частности по методу Чохральского, с регулированием путем использования изменения веса монокристалла и промышленно применимо при синтезе оксидных монокристаллов. Техническим результатом является повышение качества монокристалла за счет уменьшения периодических колебаний диаметра монокристалла. Устройство, реализующее заявляемый способ, содержит индуктор 1, внутри которого установлен тигель 2 с расплавом. Индуктор 1 через трансформатор тока 3 связан с тиристорным генератором 4. Растущий монокристалл 5 связан с датчиком веса 6, сигнал с которого поступает на мультиплексор 7. На мультиплексор 7 поступают также сигналы с датчика температуры охлаждающей воды 8, датчика температуры тигля 9 и трансформатора тока 3. Выход мультиплексора 7 через аналого-цифровой преобразователь 10 поступает на управляющий компьютер 11. Управляющий компьютер 11 выдает сигнал управления, который через цифроаналоговый преобразователь 12 поступает на тиристорный генератор 4, изменяет его мощность и, следовательно, температуру тигля 2. Непосредственно после каждого замера веса монокристалла 5 массив из 70 - 300 последних замеров из управляющего компьютера 11 поступает на второй компьютер 13, на котором производится спектральный анализ поступившего массива в режиме реального времени с помощью преобразования Фурье. При этом выявляется наличие в сигнале гармонических колебаний. В случае их обнаружения информация об этом передается на управляющий компьютер 11, где и производится подстройка коэффициентов пропорционального интегрально-дифференциального регулятора, входящего в состав управляющего компьютера 11. 4 з.п. ф-лы, 3 ил., 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента