На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ КОНТРОЛЯ ДИАМЕТРА МОНОКРИСТАЛЛА КРЕМНИЯ, ВЫРАЩИВАЕМОГО ИЗ РАСПЛАВА | |
Номер публикации патента: 2189406 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C30B015/00 | Аналоги изобретения: | SU 1527331 А, 07.12.1989. RU 2128250 С1, 27.03.1999. GB 2127712 А, 18.04.1984. US 4290835 А, 22.09.1981. US 5240684 А, 31.08.1993. US 5653799 А, 05.08.1997. ЕР 0134680 А2, 20.03.1985. JP 11217291 А, 10.08.1999. |
Имя заявителя: | Закрытое акционерное общество "Пиллар" (UA) | Изобретатели: | Берингов Сергей Борисович (UA) Куликовский Эдуард Владимирович (UA) Самохвалов Владимир Александрович (UA) | Патентообладатели: | Закрытое акционерное общество "Пиллар" (UA) |
Реферат | |
Изобретение предназначено для получения полупроводников. Оптическую ось датчика печи располагают под углом 5-20o к плоскости, проходящей через ось выращиваемого монокристалла. Выращивают монокристалл сравнения. Положение излучения от мениска столбика расплава в подкристальной области затравки Уо = 11,5 мм.
|