На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КРЕМНИЯ, ЛЕГИРОВАННОГО СУРЬМОЙ | |
Номер публикации патента: 2202656 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C30B015/04 C30B029/06 | Аналоги изобретения: | FR 2325425 А1, 27.05.1977. RU 2023769 С1, 30.11.1994. US 5553566 А, 10.09.1996. US 4631234 А, 23.12.1986. JP 55060100 А, 06.05.1980. |
Имя заявителя: | Губенко Анатолий Яковлевич | Изобретатели: | Губенко А.Я. | Патентообладатели: | Губенко Анатолий Яковлевич |
Реферат | |
Изобретение относится к производству кремния, легированного сурьмой, широко применяемого в качестве подложек для эпитаксии. Сущность изобретения: в расплав кремния, содержащего легирующую примесь сурьму в концентрациях 0,3-1,4 мас.%, вводят вторую примесь - германий нелегированный или легированный изовалентной примесью или элементом V группы, в концентрациях 0,08-1,8 мас.
|