На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ РЕГУЛИРОВАНИЯ УРОВНЯ РАСПЛАВА В ТИГЛЕ В ПРОЦЕССЕ ВЫРАЩИВАНИЯ КРИСТАЛЛОВ МЕТОДОМ ЧОХРАЛЬСКОГО | |
Номер публикации патента: 2227819 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C30B015/26 | Аналоги изобретения: | DE 4231162 А1, 24.03.1994. RU 2176689 С2, 10.12.2001. DE 3904858 А1, 14.09.1989. US 5286461 А, 15.02.1994. US 6071340 А, 06.06.2000. |
Имя заявителя: | Сидельников Сергей Алексеевич | Изобретатели: | Сидельников С.А. Богомолов С.Н. Левин М.И. Буколов Ю.В. Шушков В.М. Кудинов Б.И. Макалинский М.А. | Патентообладатели: | Сидельников Сергей Алексеевич |
Реферат | |
Изобретение относится к области получения полупроводниковых материалов. Положение уровня расплава контролируют с помощью видеокамеры, которую устанавливают под углом к вертикали. С помощью непрерывно получаемого видеоизображения определяют угол между вертикалью и лучом, проходящим через фокус оптической системы видеокамеры и центр окружности, образованной выращиваемым кристаллом на границе с расплавом.
|