|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ (ВАРИАНТЫ) |  |
Номер публикации патента: 2278912 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C30B015/20 C30B015/30 C30B029/06 | | Аналоги изобретения: | RU 2193079 C1, 20.11.2002. RU 2077615 С1, 20.04.1997. JP 3137090 А, 11.06.1991. ЕР 055619 А1, 07.07.1982. US 4436577 A, 13.03.1984. |
| Имя заявителя: | Ремизов Олег Алексеевич (RU) | | Изобретатели: | Ремизов Олег Алексеевич (RU) | | Патентообладатели: | Ремизов Олег Алексеевич (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов и может быть использовано при выращивании монокристаллов кремния по методу Чохральского. Сущность изобретения: способ включает расплавление исходного кремния в тигле, введение кристаллической затравки, вытягивание кристалла из расплава во вращающемся тигле на вращающуюся затравку при совпадении направления вращения тигля и кристалла, при этом по мере выращивания кристалла во время процесса его получения скорость вращения тигля и скор
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента