|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ЗАЩИТНОГО ПОКРЫТИЯ НА ВНУТРЕННЕЙ ПОВЕРХНОСТИ КВАРЦЕВОГО ТИГЛЯ |  |
Номер публикации патента: 2328562 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C30B015/10 | | Аналоги изобретения: | US 2004103841 A1, 03.06.2004. RU 2286407 C1, 27.10.2006. US 5980629 A, 09.11.1999. EP 1319736 A1, 18.06.2003. |
| Имя заявителя: | Открытое акционерное общество "Подольский химико-металлургический завод" (RU) | | Изобретатели: | Мизитов Евгений Львович (RU)
Митрофанов Валентин Васильевич (RU)
Стесикова Лариса Викторовна (RU)
Шандракова Кира Эдуардовна (RU) | | Патентообладатели: | Открытое акционерное общество "Подольский химико-металлургический завод" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к металлургии полупроводниковых материалов и может быть использовано, например, при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского. Способ формирования защитного покрытия на внутренней поверхности кварцевого тигля предусматривает обработку внутренней поверхности тигля рабочим раствором, содержащим соль бария с последующей термообработкой.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента