На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ПОДГОТОВКИ КВАРЦЕВЫХ ТИГЛЕЙ ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ | |
Номер публикации патента: 2355833 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C30B015/10 | Аналоги изобретения: | RU 2286407 С1, 27.10.2006. ЕР 1375702 А2, 02.01.2004. US 2004103841 A1, 03.06.2004. |
Имя заявителя: | Супоненко Александр Николаевич (RU),Соколов Евгений Борисович (RU),ООО "Русский кремний" (RU) | Изобретатели: | Супоненко Александр Николаевич (RU) Соколов Евгений Борисович (RU) | Патентообладатели: | Супоненко Александр Николаевич (RU) Соколов Евгений Борисович (RU) ООО "Русский кремний" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области получения полупроводниковых материалов. Способ включает формирование покрытия нанесением соединений металлов на внутреннюю и/или внешнюю поверхности боковых стенок и донной части предварительно нагретого кварцевого тигля, при этом формирование покрытия осуществляют с использованием растворов или суспензий соединений циркония и/или гафния, в которые вводят поверхностно-активные соединения на основе оксида этилена, далее проводят обработку сначала действием микроволн
|