|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ КРИСТАЛЛОВ ИЗ РАСПЛАВА |  |
Номер публикации патента: 95107413 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 95107413 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Государственное предприятие "Красноярский машиностроительный завод" | | Изобретатели: | Кочергина Л.Ф.
Куценогий Л.К.
Петров С. |
Реферат | |
Изобретение относится к оборудованию для получения полупроводниковых материалов и может быть использовано в установках для выращивания монокристаллов на затравку, например, кремния методом Чохральского. Устройство содержит камеру роста с тиглем, разделенную горизонтальной перегородкой с центральным отверстием на нижнюю и верхнюю части, затравкодержатель, кассету с осью и гнездами 1. Каждое гнездо имеет фиксатор в верхней части и опору с фиксатором в нижней. Опора закреплена на ползуне, установленном в прорези полой оси , внутри которой установлен толкатель. Имеется привод поворота кассеты и привод вертикального перемещения. Такое выполнение устройства позволяет каждое гнездо кассеты настраивать по длине выращенного монокристалла и выгружать одновременно, после заполнения всех гнезд кассету из камеры с монокристаллами различной длины.
|
Поиск патентов