На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Вернуться к списку

УСТАНОВКА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ СТЕРЖНЕЙ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ

Номер публикации патента: 95107450

Вид документа:  A1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  95107450

Реферат

Изобретение относится к получению полупроводниковых материалов, в частности к получению стержней поликристаллического кремния как исходного материала для выращивания монокристаллов кремния. Установка включает в себя разъемный реактор 1, вертикальную стойку 2, контейнер 3, подъемник 4, систему подачи компонентов 5, транспортировочную тележку 6. Верхняя часть реактора 1 закреплена неподвижно на вертикальной стойке 2, нижняя часть 8 реактора 1 выполнена подвижной. Подъемник 4 установлен на направляющих 9 стойки 2 и замковым устройством 10 сцепляются с нижней частью реактора 8 или с контейнером 3. В верхней части 7 реактора размещены токовводы 11 с узлами крепления основ 12. Контейнер 3 имеет гнезда 13 с донными амортизаторами 14, размещенными в соответствии с размещением токовводов. К нижней части 8 реактора подведены магистрали подачи компонентов от блока подачи компонентов 5 и магистрали удаления газообразных и жидких продуктов реакции. Установка имеет площадку обслуживания 15. Загрузка реактора производится поднятием подъемником 4 контейнера 3 с установленными в гнезда 13 основаниями. Аппаратчик, находящийся на площадке обслуживания 15, производит установку основ в узлы крепления 12 на токовводы 11. После чего нижняя часть 8 подвозится под реактор подъемником 4, поднимается и стыкуется с верхней частью 7. Производится выращивание стержней поликристаллического кремния методом водородного восстановления хлорсиланов. Разгрузка производится в гнезда 12 контейнера 3.

Вернуться к списку