|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ МОЛЕКУЛЯРНО - ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ |  |
Номер публикации патента: 2111291 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C30B023/08 | | Аналоги изобретения: | SU, авторское свидетельство, 1231920, кл. C 30 B 23/08, 1991. SU, авторское свидетельство, 1700113, кл. C 30 B 23/08, 1993. |
| Имя заявителя: | Институт физики полупроводников СО РАН | | Изобретатели: | Блинов В.В.
Горяев Е.П.
Дворецкий С.А.
Михайлов Н.Н.
Мясников В.Н.
Сидоров Ю.Г.
Стенин С.И. | | Патентообладатели: | Институт физики полупроводников СО РАН
Конструкторско-технологический институт прикладной микроэлектроники СО РА |
Реферат | |
Использование: устройство для молекулярно-лучевой эпитаксии относится к вакуумной технике и может быть использовано в технологии получения тонкопленочных многослойных покрытий. Устройство содержит вакуумную технологическую камеру, размещенные в ней напротив подложки кольцевые рассеиватели, системы подачи паров материалов, соединяющие рассеиватели с источниками паров материалов, манипулятор для перемещения подложек и охлаждаемые экраны. Кольцевые рассеиватели установлены в технологической камере в виде пакета друг относительно друга, источники паров вынесены за пределы технологической камеры и снабжены системами подачи газовых металлоорганических соединений, а в камере кольцевого рассеивателя установлена дросселирующая решетка, разделяющая ее на две кольцевые камеры. К технологической камере присоединены шлюзовые камеры, в которых размещены системы загрузки испаряемых материалов, включающие в себя источники паров твердых материалов, снабженные запорными устройствами, узлами стыковки с паропроводами или кольцевыми рассеивателями и связанные со шлюзовой камерой вакуумными вводами движения с приводами, обеспечивающими перемещение источников для стыковки с паропроводами или кольцевыми источниками. 12 з.п. ф-лы, 8 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента