На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Вернуться к списку

УСТРОЙСТВО ДЛЯ МОЛЕКУЛЯРНО - ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ

Номер публикации патента: 95102853

Вид документа:  A1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  95102853

Реферат

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в технологии получения тонкопленочных многослойных покрытий. Устройство содержит вакуумную технологическую камеру, размещенные в ней напротив подложки кольцевые рассеиватели, системы подачи паров материалов, соединяющие кольцевые рассеиватели с источниками паров материалов, манипулятор для перемещения подложек и охлаждаемые экраны. Кольцевые рассеиватели установлены в технологической камере в виде пакета соосно друг относительно друга, источники паров вынесены за пределы технологической камеры и снабжены системами загрузки испаряемых материалов, системами подачи газовых металлоорганических соединений, а в камере кольцевого рассеивателя установлена дросселирующая решетка, разделяющая ее на две кольцевые камеры. К технологической камере присоединены шлюзовые камеры, в которых размещены системы загрузки испаряемых материалов, включающие в себя источники паров твердых материалов, снабженные запорными устройствами, узлами стыковки с пароводами или кольцевыми рассеивателями и связанные со шлюзовой камерой вакуумными вводами движения с приводами, обеспечивающими перемещение источников для стыковки с паропроводами или кольцевыми источниками. Кроме того, введены другие изменения в устройство, которые с перечисленными выше позволили повысить производительность, расширить технологические возможности устройства и улучшить качество пленок.

Вернуться к списку