|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК |  |
Номер публикации патента: 2026896 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C30B025/12 | | Аналоги изобретения: | 1. Заявка РСТ N 89/11556, кл. C 30B 29/04, 1989. |
| Имя заявителя: | Институт проблем механики РАН | | Изобретатели: | Гордеев А.Н.
Першин И.С.
Рулев Ю.К.
Труханов А.С.
Якушин М.И. | | Патентообладатели: | Институт проблем механики РАН |
Реферат | |
Использование: для химического осаждения пленок из газовой фазы. Устройство содержит охлаждаемый держатель подложек, выполненный в форме цилиндра. Цилиндр снабжен втулкой, закрепленной на нем при помощи резьбы или на трении с уплотняющими прокладками. Подложка закреплена во втулке неподвижно и заподлицо с ней. Втулка выполнена из нетеплопроводного теплозащитного материала, например кварцевого волокнита со стекловидным высокоизлучающим покрытием. Устройство позволяет регулировать температуру подложки в широком диапозоне величин при равномерном прогреве ее поверхности. 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента