На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СЛОЕВ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ХАЛЬКОГЕНИДА |  |
Номер публикации патента: 2069241 |  |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | C30B007/00 C30B029/46 | Аналоги изобретения: | 1. Набока Н.М., Терещенко Л.Д. Формирование и структура тонких пленок сульфида самария. - Ж. Изв.АН СССР Неорган. материалы, 1980, т. 16, в. 7, с. 1179 - 1181. 2. Патент США N 318084, кл. 117-211, 1964. |
Имя заявителя: | Научно-производственное объединение им.С.А.Лавочкина (RU) | Изобретатели: | Суворова Ольга Николаевна[RU] Щупак Елена Александровна[RU] Завьялова Людмила Васильевна[UA] Серова Елена Александровна[RU] Ханова Анна Владиславовна[RU] Володин Николай Михайлович[RU] | Патентообладатели: | Научно-производственное объединение им.С.А.Лавочкина (RU) |
Реферат |  |
Использование: в области радиоэлектроники для получения тонкопленочных тензорезисторов, термосопротивлений, магнитосопротивлений, средств записи информации. Способ включает предварительный синтез дитиокарбаматного комплекса /K/ в спиртовом растворе из соли лантаноида и диэтилдитиокарбамата натрия с дипиридилом. В результате получают дипиридилдитиокарбамат лантаноида, который растворяют в пиридине до концентрации 0,05 - 0,10 М. Этот раствор распыляют и осаждают на подложку нагретую до 200 - 300oC. Получают слои сульфидов соответствующих лантаноидов. Получены слои сульфида лантана толщиной 1 мкм, сульфида самария толщиной 1,5 мкм, сульфида тeрбия толщиной 0,5 мкм. Скорости роста соответственно . 1 ил.
|