На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ЛЕГИРОВАНИЯ МЕТАЛЛОВ В ПЛЕНКАХ | |
Номер публикации патента: 2276206 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C30B031/22 H01L039/00 | Аналоги изобретения: | RU 2172043 С2, 10.08.2001. SU 1055784 A1, 23.11.1983. KZ 4275 A, 14.03.1997. |
Имя заявителя: | Дочернее государственное предприятие "Институт ядерной физики" Национального ядерного центра Республики Казахстан (KZ),Товарищество с ограниченной ответственностью "СИМПЛА" (KZ) | Изобретатели: | Тулеушев Адил Жианшахович (KZ) Володин Валерий Николаевич (KZ) Тулеушев Юрий Жианшахович (KZ) | Патентообладатели: | Дочернее государственное предприятие "Институт ядерной физики" Национального ядерного центра Республики Казахстан (KZ) Товарищество с ограниченной ответственностью "СИМПЛА" (KZ) |
Реферат | |
Изобретение относится к области получения специальных сплавов в виде покрытий или самонесущих изделий и может быть использовано в металлургии, машиностроении, материаловедении и других отраслях. Способ легирования металла в пленках включает одновременное со сдвигом в пространстве распыление металла и легирующего элемента в нанодисперсное состояние в плазме низкого давления и соосаждение их субслоями поочередным повторяющимся пересечением потоков плазмы, при этом осаждение каждого субслоя ведут в
|