На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ИОННЫЙ УСКОРИТЕЛЬ | |
Номер публикации патента: 2278484 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H05H001/54 F03H001/00 | Аналоги изобретения: | DE 10014033 А, 04.10.2001. WO 0171185 А, 27.09.2001. DE 10130464 А, 02.01.2003. US 4495631 А, 22.01.1985. RU 2092982 С1, 10.10.1997. |
Имя заявителя: | ТЕЙЛЗ ЭЛЕКТРОН ДИВАЙСЕЗ ГМБХ (DE) | Изобретатели: | КОРНФЕЛЬД Гюнтер (DE) КУСТУ Грегори (DE) КОХ Норберт (DE) | Патентообладатели: | ТЕЙЛЗ ЭЛЕКТРОН ДИВАЙСЕЗ ГМБХ (DE) |
Реферат | |
Изобретение относится к ионным ускорителям и может быть использовано, в частности, для обработки поверхностей в технике полупроводников или в качестве привода для космических аппаратов. Ионный ускоритель содержит ионизационную камеру, электродную систему и магнитную систему, причем ионизационная камера в продольном направлении имеет отверстие для вывода ионов и поперечно продольному направлению ограничена, по меньшей мере, одной боковой стенкой, и расположенное на заданном расстоянии от выходного
|