|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| КОМБИНИРОВАННЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС |  |
Номер публикации патента: 95111572 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 95111572 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Центральный научно-исследовательский институт "Дельфин" | | Изобретатели: | Малышкин Н.Н.
Шугаев В.Г |
Реферат | |
Комбинированный турбомолекулярный насос, содержащий корпус, электродвигатель, ротор, имеющий спиральные канавки и турбинные колеса, газодинамическую опору, отличающийся тем, что ротор дополнительно содержит коаксиально расположенный цилиндрический стакан, внешняя поверхность которого является элементом вязкостной ступени, а во внутреннюю расточку стакана запрессована втулка газодинамической опоры, неподвижный вал которой вместе с торцевыми дисками жестко закреплен на оси, установленной на торце втулки электродвигателя, при этом одно из турбинных колес имеет глухой торец, являющийся одновременно вакуум-плотной крышкой, отделяющей откачиваемый объем от газовой опоры.
|
Поиск патентов