|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ КЛАПАН |  |
Номер публикации патента: 2014535 |  |
| Имя заявителя: | Институт физики полупроводников СО РАН,Конструкторско-технологический институт прикладной микроэлектроники СО РАН,Товарищество с ограниченной ответственностью Производственно-коммерческой фирмы "Конком Лтд" | | Изобретатели: | Блинов В.В.
Горяев Е.П.
Пчеляков О.П.
Козлов Н.И. | | Патентообладатели: | Институт физики полупроводников СО РАН
Конструкторско-технологический институт прикладной микроэлектроники СО РАН
Товарищество с ограниченной ответственностью Производственно-коммерческой фирмы "Конком Лтд" |
Реферат | |
Использование: в области арматуростроении, а более конкретно в щелевых клапанах, применяемых в системах высокого вакуума, в частности для обеспечения передачи пластинчатых изделий между герметичными камерами в вакуумных установках молекулярно-лучевой эпитаксии. Сущность изобретения: клапан содержит корпус с горловиной и проходными соосными отверстиями, выполненными в виде щелей.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента