US 5075055 А, 24.12.1991. RU 2059025 C1, 27.04.1996. SU 866381 A, 26.09.1981. JP 02-242082 A, 26.09.1990. US 3986822 A, 19.10.1976.
Имя заявителя:
ЗАО "Научное и технологическое оборудование" (RU)
Изобретатели:
Алексеев Алексей Николаевич (RU) Баранов Дмитрий Аркадьевич (RU) Шкурко Алексей Петрович (RU) Погорельский Юрий Васильевич (RU)
Патентообладатели:
ЗАО "Научное и технологическое оборудование" (RU)
Реферат
Изобретение относится к тиглям для испарения алюминия в процессе молекулярно-пучковой эпитаксии. Тигель включает корпус из нитрида бора в виде колбы с фланцем в верхней части и покрытие, содержащее пиролитический графит. Фланец выполнен в виде конического раструба. Покрытие нанесено на наружную поверхность конического раструба и выполнено однослойным из пиролитического графита с толщиной слоя 20-50 мкм. При этом наружная поверхность колбы открыта. Технический результат - предотвращение вытекания алюминия в процессе молекулярно-пучковой эпитаксии. 4 ил.