РАСПОПОВ В.Я. Микромеханические приборы: учебное пособие. - М.: Машиностроение, 2007, с.23, 26. RU 2377575 С2, 27.12.2009. WO 94/28427 A1, 08.12.1994. US 7389690 B2, 24.06.2008. US 7640803 B1, 05.01.2010.
Имя заявителя:
Российская Федерация, от имени которой выступает государственный заказчик - Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") (RU), Федеральное государственное унитарное предприятие "РОССИЙСКИЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ЯДЕРНЫЙ ЦЕНТР - ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ ИМЕНИ АКАДЕМИКА Е.И. ЗАБАБАХИНА" (RU)
Изобретатели:
Панкратов Геннадий Александрович (RU) Перебатов Василий Николаевич (RU)
Патентообладатели:
Российская Федерация, от имени которой выступает государственный заказчик - Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") (RU) Федеральное государственное унитарное предприятие "РОССИЙСКИЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ЯДЕРНЫЙ ЦЕНТР - ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ ИМЕНИ АКАДЕМИКА Е.И. ЗАБАБАХИНА" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области измерительной техники, а более конкретно к измерительным элементам линейного ускорения. Виброчастотный микромеханический акселерометр содержит подложку (1) из диэлектрического материала, инерционную массу (2) с центральным отверстием (3), опорные элементы (4) и дополнительный опорный элемент (5), закрепленные на подложке (1) и размещенные в центральном отверстии (3). Инерционная масса (2) связана с опорными элементами (4) через упругие элементы (6). Резонатор (7) закреплен с одной стороны к инерционной массе (2), а с другой стороны - к дополнительному опорному элементу (5), является подвижным электродом и совместно с неподвижными электродами (8) представляет собой систему возбуждения-регистрации колебаний. Акселерометр позволяет измерять величину действующего линейного ускорения в направлении оси Х с высокой точностью за счет частотного выходного сигнала и высокой добротности колебаний резонатора. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента