Федеральное государственное унитарное предприятие "РОССИЙСКИЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ЯДЕРНЫЙ ЦЕНТР - ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ ИМЕНИ АКАДЕМИКА Е.И. ЗАБАБАХИНА" (RU)
Изобретатели:
Панкратов Геннадий Александрович (RU) Перебатов Василий Николаевич (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное унитарное предприятие "РОССИЙСКИЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ЯДЕРНЫЙ ЦЕНТР - ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ ИМЕНИ АКАДЕМИКА Е.И. ЗАБАБАХИНА" (RU)
Реферат
Изобретение относится к измерительной технике. Акселерометр содержит подложку (1) из диэлектрического материала, опорные элементы (3), неподвижно закрепленные на подложке (1), инерционную массу (2), расположенную с зазором относительно подложки (1) и связанную с опорными элементами (3) через упругие элементы подвеса (4). Дополнительная масса (5) с упругими элементами подвеса (6) расположена с зазором относительно подложки (1) и ее масса существенно меньше массы инерционной массы (2). Резонатор (7) расположен с зазором относительно подложки (1) и закреплен с одной стороны к инерционной массе (2), а с другой - к дополнительной массе (5). Система регистрации перемещений инерционной массы выполнена в виде электростатической системы возбуждения - регистрации колебаний резонатора, которая содержит неподвижные электроды (8), закрепленные на подложке, и подвижный электрод, в качестве которого используется резонатор (7). Соотношение жесткостей упругих элементов подвеса инерционных масс в направлении, перпендикулярном подложке (1), описывается уравнением: C1C2·m2/m1, где C1 и С2 - жесткости упругих элементов подвесов инерционной массы и дополнительной массы в направлении, перпендикулярном подложке, соответственно, m1 - масса инерционной массы; m2 - масса дополнительной массы. Изобретение обеспечивает повышение точности измерений. 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента