|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ЕМКОСТНЫЙ СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ, НАНОСИМЫХ В ВАКУУМЕ |  |
Номер публикации патента: 2261416 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01B007/06 | | Аналоги изобретения: | ХОЛЛЭНД Л. Пленочная микроэлектроника. Перевод с английского под ред. М.И.Елинсона. - М.: Мир, 1968, с.299. SU 1539512 А1, 30.01.1990. SU 1796887 A1, 23.02.1993. GB 371965 А, 05.05.1932. |
| Имя заявителя: | Рыбинская государственная авиационная технологическая академия им. П.А. Соловьева (RU) | | Изобретатели: | Козка В.К. (RU)
Семенов Э.И. (RU)
Истомин А.С. (RU) | | Патентообладатели: | Рыбинская государственная авиационная технологическая академия им. П.А. Соловьева (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к средствам наблюдения за процессом нанесения покрытий. Технический результат: расширение диапазона контролируемой толщины покрытий и возможность контроля толщины тонких пленок и покрытий из различных, в том числе и проводящих, материалов. Сущность: паровой поток пропускают через верхнюю обкладку конденсатора, выполненную перфорированной или в виде сетки, и осаждают на приемной обкладке.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента