|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ЛАЗЕРНАЯ ЗОНДИРУЮЩАЯ СИСТЕМА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК ТОНКОЙ ПЛАСТИНЫ МАТЕРИАЛА, ИМЕЮЩЕЙ АПЕРТУРУ, СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ШИРИНЫ ЩЕЛЕЙ В ДВИЖУЩЕЙСЯ ТОНКОЙ ПЛАСТИНЕ МАТЕРИАЛА И СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК ТОНКОЙ ПЛАСТИНЫ МАТЕРИАЛА, ИМЕЮЩЕЙ АПЕРТУРЫ |  |
Номер публикации патента: 2159407 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01B011/02 | | Аналоги изобретения: | US 3954337 A, 04.05.1976. US 4330775 A, 18.05.1992. US 4930889 A, 05.06.1990. |
| Имя заявителя: | БИ-ЭМ-СИ ИНДАСТРИЗ, ИНК. (US) | | Изобретатели: | Джеймс Р. ФЕНДЛИ (US)
Брюс Х. ЦИММЕРМАН (US) | | Патентообладатели: | БИ-ЭМ-СИ ИНДАСТРИЗ
ИНК. (US) |
Реферат | |
Изобретение относится к измерению размера апертур в материале. Лазерный зонд для измерения апертур в тонкой пластине материала включает лазерный луч и детектирующую систему. Лазерный луч имеет большую ось и малую ось, которые взаимно перпендикулярны. Длина большой оси значительно больше, чем длина малой оси.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента