На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНО - ФАЗОВОЙ ПРОФИЛОМЕТРИИ И/ИЛИ ПРОФИЛОГРАФИИ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО РЕАЛИЗАЦИИ | |
Номер публикации патента: 2179328 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G02B021/00 G01B011/30 | Аналоги изобретения: | US 4577967 А, 25.03.1986. US 5481360 А, 02.01.1996. GB 2146116 А, 11.04.1985. SU 1734066 А, 15.02.1992. |
Имя заявителя: | Кияшко Сергей Николаевич (RU) | Изобретатели: | Кияшко С.Н. (RU) Смирнов Евгений Николаевич (UA) Ильченко Леонид Николаевич (UA) Коленов Сергей Александрович (UA) Стельмах Александр Устимович (UA) | Патентообладатели: | Кияшко Сергей Николаевич (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к оптическим измерительным устройствам, в частности к способам и средствам оптической профилометрии и/или профилографии. Способ заключается в том, что предварительно сканируют световым пучком эталонную поверхность, а затем по тем же траекториям сканируют исследуемую поверхность. При этом последовательно сканируют исследуемую и эталонную поверхности двумя световыми пучками, разделенными на два параксиальных луча. Один из лучей сдвигают относительно другого по частоте и в пространстве. Данные о разности фаз отраженных лучей корректируют на основе данных о разности фаз отраженных лучей и о проинтегрированных по траекториям сканирования данных для эталонной поверхности. Устройство включает в себя два акустооптических дефлектора, два генератора управляющих сигналов для каждого акустооптического дефлектора с общим генератором опорной частоты и блок обработки данных. Изобретение позволяет повысить точность построения изображения исследуемой поверхности и точность определения параметров профиля исследуемой поверхности, а также обеспечить возможность исследования поверхностей объектов произвольной формы. 2 с. и 9 з.п. ф-лы, 5 ил.
|