|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЯ НА ПОДЛОЖКЕ |  |
Номер публикации патента: 2107894 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | G01B015/02 G01B015/00 | | Аналоги изобретения: | 1. Гоулдстейн Д., Яковица Х. Практическая растровая электронная микроскопия, М., 1978, с. 334. 2. Патент ФРГ N 2938783, кл. G 01 B 15/02, 1983. |
| Имя заявителя: | Войсковая часть 75360 | | Изобретатели: | Парнасов В.С.
Маклашевский В.Я. | | Патентообладатели: | Войсковая часть 75360 |
Реферат | |
Способ измерения толщины покрытия на подложке предназначен для измерения толщины покрытий на подложках и может быть использован для измерения толщин многослойных покрытий на подложке. Пучком электронов облучают композицию из слоев покрытия и подложки объекта контроля. В верхнем слое 1 возбуждается характеристическое рентгеновское излучение 5, которое, проникая вглубь композиции возбуждает вторичное характеристическое излучение 6 слоя покрытия, лежащего ниже контролируемого. Одновременно излучением 5 возбуждают характеристическое излучение массивного эталона, регистрируют излучение 6, прошедшее через контролируемое покрытие детектором 7, и характеристическое излучение массивного эталона, берут отношение интенсивностей зарегистрированных сигналов, по величине которого судят о толщине верхнего слоя покрытия. 3 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента