На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ РАЗМЕРОВ | |
Номер публикации патента: 2134864 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | G01B015/00 | Аналоги изобретения: | Электронная промышленность, 1994, N 7 - 8, с. 163 - 168. |
Имя заявителя: | Ильин Михаил Юльевич | Патентообладатели: | Ильин Михаил Юльевич Козлитин Алексей Иванович Максимов Сергей Кириллович Никитин Аркадий Викторович Общество ограниченной ответственности "Транслайн" |
Реферат | |
Линейные размеры микронных, субмикронных, нанометровых объектов измеряются с помощью растровых электронных микроскопов как расстояние между инвариантными точками на видеосигнале, соответствующем измеряемому объекту. Положение каждой из инвариантных точек определяют как точку пересечения кривой, соответствующей зафиксированному видеосигналу, и расчетной кривой. Рассчетная кривая вычисляется как свертка или обращение свертки видеосигнала с произвольной четной интегрируемой функцией. Обеспечивается повышение точности определения положения инвариантных точек за счет исключения погрешности наложения кривых, аппроксимирующих видеосигналы. 2 з.п.ф-лы, 1 ил.
|