На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЯ НА ПОДЛОЖКЕ | |
Номер публикации патента: 2154807 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G01B015/02 | Аналоги изобретения: | SU 468084 A, 25.04.1975. ГОУЛДСТЕЙН Д. И др. Практическая растровая электронная микроскопия. : - М.: Мир, 1978, с.334. DE 3614761 A, 30.10.1986. JP 3-71046 B4, 30.04.1986. JP 60-179605 A, 13.09.1985. RU 94012493 A1, 20.12.1995. |
Имя заявителя: | Войсковая часть 75360 | Изобретатели: | Парнасов В.С. Маклашевский В.Я. Закутаев И.Л. | Патентообладатели: | Войсковая часть 75360 |
Реферат | |
Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для измерения толщины покрытий на подложках. Сущность изобретения состоит в том, что пучком электронов облучают композицию из слоев покрытия и подложки объекта контроля. В верхнем слое возбуждается характеристическое рентгеновское излучение, которое, проникая вглубь композиции, возбуждает вторичное характеристическое излучение слоя покрытия, лежащего ниже контролируемого.
|