RU 2134864 C1, 20.08.1999. US 7442929 B2, 28.10.2008. KR 100846635 B1, 16.07.2008. JP 2004-319518 A, 11.11.2004. JP 11-086769 A, 30.03.1999.
Имя заявителя:
Кучеренко Алексей Валентинович (RU)
Изобретатели:
Максимов Сергей Кириллович (RU) Максимов Кирилл Сергеевич (RU) Кучеренко Алексей Валентинович (RU) Сухов Дмитрий Николаевич (RU)
Патентообладатели:
Кучеренко Алексей Валентинович (RU)
Реферат
Группа изобретений относится к способам измерения линейных размеров изделий, микро- и наноэлектроники, а также наноразмерным частицам и к сканирующим электронным микроскопам. Способ измерения линейных размеров объекта с использованием растрового электронного микроскопа как расстояния между инвариантными точками распределений интенсивности реизлучения, формирующего изображение на краях объекта, включает этап, на котором регистрируют профиль интенсивности реизлучения при глубине фокуса электронного микроскопа, превышающей высоту объекта и профили интенсивности реизлучения с различной по знаку фокусировкой электронного пучка при глубине фокуса электронного микроскопа менее высоты объекта. При этом все профили интенсивности реизлучения регистрируют при использовании электронных пучков, имеющих одинаковые размеры сечения плоскостью, соответствующей нулевой высоте объекта, и интенсивности в этом сечении. Для определения инвариантных точек на краях объекта используют значения разностных профилей интенсивности. Технический результат - увеличение точности измерения. 4 н. и 7 з.п. ф-лы, 14 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента