|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОДНОЙ СИСТЕМЫ НА СФЕРИЧЕСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОГО ГИРОСКОПА |  |
Номер публикации патента: 2127868 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | G01C025/00 G01C019/24 | | Аналоги изобретения: | Технологическая инструкция на формирование рисунка электродной системы на полусферах ЧЭ ЭСГ, КФ 25179, 00014. - Л.: ЦНИИ "Электроприбор", 1987. RU 94024866 A1, 10.05.96. GB 1428690 A, 17.03.76. EP 0243950 A2, 04.11.87. |
| Имя заявителя: | Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" | | Изобретатели: | Гуттовская А.К.
Агроскин Б.Н.
Гинзбург В.А.
Парфенов О.И. | | Патентообладатели: | Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" |
Реферат | |
Способ может быть использован при изготовлении чувствительных элементов электростатических гироскопов. На полусферическую поверхность каждой из двух диэлектрических полусфер, образующих вакуумную камеру чувствительного элемента, последовательно наносят сплошное металлическое покрытие и фоторезистивный слой, на котором формируют световое изображение и получают методом фотолитографии заданный рисунок. Световое изображение формируют с плоского фотошаблона с рисунком на нем, выполненным в виде конформного отображения заданного рисунка электродной системы на полусферической поверхности. Производят экспонирование фоторезистивного слоя через плоский фотошаблон в расходящемся когерентном световом пучке, исходящем из точечного источника света. При этом заданный рисунок отображается по всей поверхности полусферы с телесным углом охвата 180o в виде действительного изображения заданой геометрической формы и размеров. Обеспечивается возможность получения рисунка любой топологии на всей внутренней полусферической поверхности.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента