КОВАЛЕВ А.С. Исследование возможности применения пакета COVENTORWARE в задаче проектирования ММГ. Материалы VI конференции молодых ученых, СПб., 2005, с.171, рис.1. ПЕШЕХОНОВ В.Г. и др. Результаты разработки микромеханического гироскопа. XII Санкт-Петербургская международная конференция по интегрированным навигационным системам 23-25 мая 2005, с.268-274, рис.2, 3. RU 2320962 C1, 27.03.2008. US 5783749 A, 21.07.1998.
Имя заявителя:
Открытое акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" (RU)
Открытое акционерное общество "Концерн "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области точного приборостроения и может быть использовано в системах управления подвижной массой в микромеханических датчиках различного назначения. Микромеханический гироскоп RR-типа содержит подвижный механический элемент, гребенчатый двигатель, образованный гребенками статоров и ротора, емкостные датчики перемещения подвижного механического элемента по оси первичных колебаний, группу неподвижных электродов, образующих емкостный датчик перемещения подвижной массы вокруг оси вторичных колебаний и имеющих форму секторов или частей секторов, располагаемых на основании на слое диэлектрика. При этом угол сектора электрода выбран так, чтобы максимизировать отношение: