Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (МИЭТ) (RU)
Изобретатели:
Лапенко Вадим Николаевич (RU) Тимошенков Сергей Петрович (RU) Пасютин Антон Викторович (RU) Кик Михаил Андреевич (RU) Кик Дмитрий Андреевич (RU) Чаплыгин Юрий Александрович (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (МИЭТ) (RU)
Реферат
Изобретение относится к инерциальным приборам и может быть использовано в системах управления подвижных объектов различного назначения, а также индикаторах движения объектов. Микромеханический гироскоп содержит внутреннюю и наружную рамки и две пары взаимно перпендикулярных крестообразных торсионов с поперечным сечением в виде Х-образного профиля. Одна из пар торсионов соединяет внешнюю рамку с внутренней, другая пара - внутреннюю рамку с основанием, соединенным с электрической платой, представляющей собой диэлектрическую пластину с двумя или более парами электродов, симметрично расположенными относительно торсионов под внутренней и наружной рамками, причем основание, рамки и торсионы выполнены из одной пластины монокристаллического кремния. Изобретение позволяет повысить точность измерения и расширить температурный диапазон работы устройства. 3 ил.