|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ТЕРМОАНЕМОМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК МАССОВОГО РАСХОДА ЖИДКОСТЕЙ И ГАЗОВ |  |
Номер публикации патента: 2276775 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01F001/692 | | Аналоги изобретения: | DE 4219454 A1, 16.12.1995. DE 19801484 A1, 23.07.1998. DE 4005801 A1, 29.08.1991. EP 1348937 A2, 01.10.2003. RU 2196965 C2, 20.01.2003. RU 2085874 C1, 27.07.1997. WO 98/36247 A1, 20.08.1998. |
| Имя заявителя: | ООО ДЕЛОВОЙ ЦЕНТР "КРОНШТАДТ" (RU) | | Изобретатели: | Березкин Валерий Алексеевич (RU)
Матвеева Надежда Константиновна (RU)
Мушта Виктор Михайлович (RU)
Певгов Вячеслав Геннадьевич (RU)
Шкуропат Иван Георкиевич (RU) | | Патентообладатели: | ООО ДЕЛОВОЙ ЦЕНТР "КРОНШТАДТ" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области микроэлектронных и микромеханических устройств. Датчик содержит кремниевую рамку - основание с мембраной, выполненной из чередующихся слоев двуокиси и нитрида кремния с заданным соотношением толщин слоев. На мембране размещены нагревательный резистор и два платиновых резистора, один из которых является чувствительным элементом (ЧЭ) датчика, а другой служит для температурной коррекции.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента