|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО РЕГУЛИРОВАНИЯ РАСХОДА С МУЛЬТИСЕНСОРАМИ |  |
Номер публикации патента: 2323416 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01F001/40 G01F015/02 | | Аналоги изобретения: | US 5469749 А, 28.11.1995. US 6539813 B1, 01.04.2003. US 6089097 A, 18.07.2000. WO 01/20282 A1, 22.03.2001. RU 96120202 A, 27.12.1998. |
| Имя заявителя: | РОУЗМАУНТ ИНК. (US) | | Изобретатели: | ШУМАХЕР Марк С. (US)
БРОДЕН Дэвид А. (US)
УИКЛУНД Дэвид Э. (US) | | Патентообладатели: | РОУЗМАУНТ ИНК. (US) |
Реферат | |
Изобретение предназначено для регулирования расхода текучей среды высокой степени чистоты при производстве полупроводниковых устройств. Между входом и выходом корпуса установлен ограничитель потока, выполненный из пористого материала (пористый кремний). Первый и второй мультисенсоры имеют сенсорные поверхности на входе и выходе, посредством которых определяют давление и температуру потока.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента