|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ДОЗАТОР ГОМОГЕННОЙ ПАРОГАЗОВОЙ СМЕСИ |  |
Номер публикации патента: 2227903 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01F011/28 | | Аналоги изобретения: | SU 473903 A, 14.06.1975. SU 1776876 A1, 23.11.1992. SU 1806276 A3, 30.03.1993. RU 2031347 C1, 20.03.1995. US 3139837 A, 07.07.1964. EP 0113518 A2, 18.07.1984. |
| Имя заявителя: | Открытое акционерное общество "НИИ молекулярной электроники и завод "Микрон" | | Изобретатели: | Скоробогатов М.А.
Долгов А.Н.
Гурский Ю.Н. | | Патентообладатели: | Открытое акционерное общество "НИИ молекулярной электроники и завод "Микрон" |
Реферат | |
Изобретение относится к средствам для образования паровой и парогазовой смеси, используемой при высокотемпературной обработке изделий в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем. Дозатор гомогенной парогазовой смеси содержит резервуар с реагентом, нагреватель, размещенный во внутренней трубке, систему регулирования температуры, камеру испарения с патрубками, образованную двумя эксцентрично расположенными одна в другой трубками, образующими щелевой переменного поперечного сечения
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента