|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ДОЗАТОР ГОМОГЕННОЙ ПАРОГАЗОВОЙ СМЕСИ |  |
Номер публикации патента: 2314499 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01F011/28 | | Аналоги изобретения: | RU 200132917 А, 27.09.2003. SU 473903 А, 14.06.1975. SU 1795296 A1, 15.02.1993. GB 2164453 A, 19.03.1986. US 3331237 A, 07.12.1964. |
| Имя заявителя: | Открытое акционерное общество "НИИ молекулярной электроники и завод "МИКРОН" (RU) | | Изобретатели: | Скоробогатов Михаил Александрович (RU)
Долгов Алексей Николаевич (RU)
Гурский Юрий Николаевич (RU) | | Патентообладатели: | Открытое акционерное общество "НИИ молекулярной электроники и завод "МИКРОН" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к средствам для образования паровой и парогазовой смеси, используемой при высокотемпературной обработке изделий в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем. Изобретение направлено на повышение надежности и качества дозатора, что обеспечивается за счет того, что дозатор гомогенной парогазовой смеси содержит резервуар с реагентом, нагреватель, размещенный во внутренней трубке, камеру испарения с патрубками, образованную двумя расположенными одна в другой труб
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента