US 2004/0066504 A1, 08.04.2004. US 2006/0056060 A1, 16.03.2006. МАЛЬЦЕВ М.Д. и др. Прикладная оптика и оптические измерения. - М.: Машиностроение, 1958, с.115, 118. RU 40103 U1, 27.08.2004. JP 2001004491 А, 12.01.2001. US 2006/0043258 A1, 02.03.2006. US 2006/0254115 A1, 16.11.2006.
Имя заявителя:
УЭЙВЛАЙТ АГ (DE)
Изобретатели:
ЦЕРЛЬ Бернд (DE) КИТТЕЛЬМАНН Олаф (DE)
Патентообладатели:
УЭЙВЛАЙТ АГ (DE)
Приоритетные данные:
13.09.2007 EP 07017968.4
Реферат
Изобретение относится к области оптических измерений. Устройство содержит линзовую систему увеличения, образованную двумя линзами (10, 12), установленными последовательно, с совпадающими фокусами на траектории лазерного пучка, а также камеру (74), расположенную за этими линзами в фокусе последней линзы (12). Камера содержит электронный датчик (14) изображения, генерирующий электронное изображение лазерного пучка, сечение которого увеличено посредством линз. Положение линз (10, 12) вместе с камерой (74) может юстироваться вдоль траектории пучка относительно базовой точки (46) измерительного устройства с целью локализации фокальной перетяжки лазерного пучка и определения диаметрального профиля лазерного пучка. Измерительное устройство дополнительно содержит адаптер (42), охватывающий траекторию пучка и служащий для прикрепления измерительного устройства к лазерной системе, генерирующей лазерный пучок. Адаптер (42) образует опорную поверхность (46) для лазерной системы, которая выступает по направлению оси (16) лазерного пучка. Изобретение обеспечивает возможность механического сопряжения с лазерными системами, имеющими различные механические и/или оптические параметры. 17 з.п. ф-лы, 5 ил.