US 5844238 А, 01.12.1998. RU 2278446 С1, 20.06.2006. RU 2152138 С1, 27.06.2000. SU 271429 А, 26.08.1970.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (RU), Общество с ограниченной ответственностью "ЭЛЕМ ИНФО" (RU)
Изобретатели:
Золотарев Виталий Иосифович (RU) Рудаков Григорий Александрович (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (RU) Общество с ограниченной ответственностью "ЭЛЕМ ИНФО" (RU)
Реферат
Изобретение относится к области создания приемников инфракрасного излучения. В приемнике биматериальная консоль формируется из пленок материалов с разными термическими коэффициентами расширения, поэтому при изменении температуры незакрепленная часть консоли смещается относительно подложки. Считывание этого смещения позволяет проводить визуализацию распределения температуры наблюдаемого объекта. В качестве элемента, считывающего смещение незакрепленной части консоли, применен МДП-транзистор, затвор которого закреплен за консоль, а исток и сток размещены в подложке, за консоль также закреплены электроды для электростатического управления исходным положением консоли относительно подложки. Зазоры между затвором и подложкой и электродами электростатического управления и подложкой меньше, чем между консолью и подложкой. Техническим результатом изобретения является повышение чувствительности приемника и возможность уменьшения площади фоточувствительной ячейки. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.