|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДЕФОРМАЦИИ И ТЕМПЕРАТУРЫ |  |
Номер публикации патента: 2115897 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | G01K007/22 G01L009/04 | | Аналоги изобретения: | SU, авторское свидетельство N 1000804, кл. G 01 L 9/04, 28.02.83. SU, авторское свидетельство N 553498, кл. G 01 L 9/04, 05.04.77. SU, авторское свидетельство N 614318, кл. G 01 B 7/16, 05.07.78. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт физических измерений | | Изобретатели: | Козин С.А.
Шамраков А.Л. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт физических измерений |
Реферат | |
Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано при разработке малогабаритных полупроводниковых высокочувствительных преобразователей деформации и температур. Интегральный преобразователь деформации и температуры содержит кремниевый кристалл с тензорезисторами и терморезистором. Терморезистор размещен в плоскости тензорезисторов над отверстием, сформированным в теле кристалла вне тензорезисторов, и закреплен на кристалле с помощью электропроводящих коммутационных металлических шин в виде плоских пружин. Изобретение повышает точность измерений температуры за счет исключения изменения сопротивления терморезистора от деформации преобразователя и точность измерений деформации за счет температурной компенсации. 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента