На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА МЕТАЛЛОПЛЕНОЧНЫХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ

Номер публикации патента: 1398573

Вид документа:  A1  Страна публикации:  SU  Рег. номер заявки:  3895893		Получить полное описание патента

Реферат

Изобретение относится к электронной технике и служит для повышения стабильности значений выходного напряжения чувствительного элемента. На упругие подложки из коррозионностойкой стали наносят слой SiO с адгезионным подслоем из хрома и пленку резистивного материала (ПР) до достижения величины поверхностного сопротивления ПР 50 - 55 Ом/о. ПР выдерживают в вакууме при температуре напыления 350^oС в течение 4,5 - 5 ч. Затем на ПР через трафарет наносят слой проводящего материала на основе золота с адгезионным подслоем из хрома и создают контактные площадки тензорезисторов и рисунок коммутации. После этого формируют рисунок тензорезисторов и выдерживают чувствительный элемент в кислородной плазме с расходом кислорода 2 - 3 см³ мин в вакууме 0,7 - 0,9 мм рт. ст. в течение 1,5 - 2 ч. 2 табл.

Вернуться к списку