На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ | ![](Images/non.gif) |
Номер публикации патента: 2012857 | ![](Images/empty.gif) |
Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт физических измерений | Изобретатели: | Козин С.А. | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт физических измерений |
Реферат | ![](Images/empty.gif) |
Использование: в измерительной технике при разработке и изготовлении полупроводниковых преобразователей малых давлений. Цель: повышение чувствительности преобразователя и технологичности способа изготовления. Сущность изобретения: на утоньшенных участках мембраны из высоколегированного бором кремния с концентрацией примеси от 51019cм-3 толщиной 2 - 5 мкм (2) закреплены балки (5), на которых сформированы тензорезисторы (4).
|